Ein Halbleiter-Detektor ist ein Messgerät zur Bestimmung von ionisierender Strahlung, die sich folglich durch ein Energie-Häufigkeits-Diagramm bestimmen und auf das radioaktive Material zurückzuführen lässt.

- Ein Halbleiter wird in Sperrrichtung an eine Stromquelle angeschlossen
- Es entsteht ein Vakuum an frei beweglichen Elektronen in der Mitte des Halbleiters
- Durch die ionisierende Strahlung entstehen Elektron-Loch-Paare (innerer Photoeffekt)
- Die Elektronen wandern zum Plus-Pol und die "Löcher" wandern zum Minus-Pol
- Es entseht ein Strom
Durch den Vielkanal-Analysator (VKA) werden die einzelnen unterschiedlichen Energien aufgezeichnet bzw. gezählt. Hierdurch entsteht ein - Diagramm. In diesem Diagramm finden sich verschiedene Peaks wieder, die man analysieren kann (Peaks analysieren) und mithilfe der Nuklidkarte auf das ursprüngliche Material der ionisierenden Strahlung zurückschließen kann. Hierfür liest man die Energie des Peaks ab und versucht ein Element aus der Nuklidkarte zu finden, dass beim Zerfall diese Menge an Energie aussendet.